北方华创申请磁控管装置、上电极结构及半导体工艺设备专利, 提高靶材利用率

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“磁控管装置、上电极结构以及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121054449A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本发明提供一种磁控管装置、上电极结构以及半导体工艺设备。磁控管装置包括驱动组件、第一传动组件、摆动组件和磁控组件；驱动组件驱动第一传动组件以带动磁控组件和摆动组件围绕第一旋转轴线沿第一方向旋转，同时使摆动组件绕第二旋转轴线沿第二方向旋转摆动组件的外周面与第二旋转轴线之间的垂直距离存在至少两处不等，用于在摆动组件的外周面与磁控组件限位配合的情况下，使磁控组件绕第三旋转轴线往复摆动；其中第一旋转轴线、第二旋转轴线、第一旋转轴线相互平行。本申请的磁控组件在旋转的同时进行一定幅度的有规律摆动，进而弱化了靶材上腐蚀快慢的差距，提高靶材腐蚀均匀性，从而提高了靶材的利用率。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1279次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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